1、氩气的电离电位较低，作为工作气体可降低分析间隙的击穿电压。在1个大气压下，均匀电场中空气气氛中的分析间隙击穿电压3000V/mm，氩气气氛中为1000V/mm。分析间隙的击穿电压越低就越容易放电激发，因此击穿电压越低有利于获得较稳定的特征光谱强度。

2、氧气是原子状态的气体，而空气（氮、氧）是分子状态。它们经激发后，氩原子所产生的激发光谱（800mm）比空气（氮、氧）的激发光谱（分子光谱带）要简单，其连续背景要低很多。

3、氩气作为保护气，在激发过程中，不会与样品金属蒸气形成其他化合物，可防止分析样品和电极不被空气氧化、氮化。这是因为空气是由氮气和氧气组成的。在高温下，分析样品和电极可被氧化生成氧化物，或者氮化生成氮化物，而氧化物和氮化物不具有导电性，可导致分析样品激发停止、中断工作，上述现象的出现将直接影响各元素的光强度值。氩气是惰性气体，在高温下不和任何金属发生反应，它的使用将可有效地杜绝金属的氧化和氮化。

4、氩气可以传输真空紫外光谱（200nm以下），可杜绝紫外区的特征光谱被吸收。吹氩的主要作用是，试样激发时赶走火花室内的空气，减小空气对紫外光区谱线的吸收。主要是在远紫外区，空气中的氧气、水蒸气具有强烈的吸收带，对分析结果造成很大的影响，且不利于激发稳定，形成或加强扩散放电，激发时产生白点。另外，在高温情况下样品中的合金元素可能会与空气中成分发生化学反应生成化合物，从而产生分析光谱，对我们所需的原子光谱造成干扰。碳、氮、硫、磷等元素其特征谱线都在紫外区。

5、样品被激发时氩气可带走热量和粉尘，并消除记忆效应，净化分析环境。气体具有流动性，不但可以带走多余的热量，还可以带走大量的粉尘。当温度较高时，使样品或电极发生膨胀现象，导致分析间院发生变化。粉尘的存在可使分析过程具有记忆效应或者影响光谱光路，不管是哪种情况，都会影响分析结果的准确度。

光电直读光谱仪所用氩气的纯度，必须满足GB/T- 4842-2006《氩》中的高纯氩等级，及氩气纯度必须≥99.999%