光电直读光谱仪所用氩气的纯度，必须满足 GB/T 4842-2006《氩》中的高纯氩等级，即氩气纯度必须≥99.999%。对氩气中的杂质含量也有一定的要求。

对于氩气纯度这个问题，首先从光电直读光谱仪的火花放电模式谈起。在氩气氛中的火花放电有:凝聚放电和扩散放电两种放电模式。凝聚放电集中在样品的较小面积上，其样品原子蒸发较好。而扩散放电比较分散，其样品原子蒸发较差。在间隙中，由于这两种放电释放出的能量相同，凝聚放电在阴极处的放电电流密度大，其激发斑点为黑色，而扩散放电的放电电流不集中，样品容易与氩气中的杂质氧或水分在分析面形成氧化层，其激发斑点为白色，导致两种放电所得分析结果差别很大。因此，凝聚放电（黑色）是好的，扩散放电（白点）是不好的。高纯氩作为火花室保护气氛，其纯度高，即杂质氧和水分低，会形成所需要的“凝聚放电”。否则，就会形成“扩散放电”。如果氩气中氧气或水分杂质含量过高，上述元素很容易与杂质氧发生反应，生成氧化物而影响测定结果。

另外，前面也说到特征谱线在紫外区，碳、氮、硫、磷元素由于其光谱被杂质氧吸收，也会影响测定结果。在样品分析过程中，由于铝、硅、铬、钼、钛和钒等元素对氧的亲和力比较高，易产生白斑等。一般来说，在相同氧浓度的氩气气氛中，对于铜、镍、金和银等元素，它们在自然界比较稳定，与氧的亲和力差，其基体样品不易在表面形成氧化膜，易产生凝聚放电，且每次放电时侵蚀的金属量较大。氩气中杂质气体应该满足氧允许量（体积分数）不大于5×10^-6、氮允许量 （体积分数）不大于20 x10^-6、水分允许量（体积分数）不大于5×10^-6、其他杂质总量 （体积分数）不大于5 x10^-6。铝、镁、锌、铁和铬等元素，与氧的亲和力较大，如果在氩气气氛中杂质氧浓度高，在放电时其表面易形成氧化膜，形成扩散放电。

因此，为了保证“凝聚放电”，杜绝“扩散放电”，氩气纯度要高。氩气中部分杂质气体限量，还应该符合：氧允许量 （体积分数）不大于2x10^-6、水分允许量（体积分数）不大于2×10^-6。