氩气流量就是每分钟流入仪器的氩气体积数，其单位用L/min 表示。由于光电直读光谱分析是在氩气氛围条件下进行的，要想保持这个氩气氛围，就必须选择好氩气流量这个参数。如果氩气流量过小，火花室中的空气没有排净，空气中的氧气对紫外光有强烈的吸收作用，使谱线的强度大大减弱，分析灵敏度急剧下降；同时，由于散热太慢导致样品或电极发生变形，火花室中的空气和试样激发分解出来的含氧化物产生扩散放电；激发过程中产生的大量金属蒸气或粉尘积聚在火花室无法及时排除至机外，很容易对聚光镜（透镜）造成污染。上述现象的存在都会对分析结果的准确度产生影响。氩气流量过大，在激发样品时火花产生跳动，也会对分析结果的准确度产生影响，另外也造成氩气资源浪费，增加使用成本。因此，氩气流量的最佳值选择是必要的。实际应用中，应根据不同的参数，调节相应的氩气流量。